Microscope à balayage à émission de champ (MEB FEG)
CIQTEK propose deux types de microscope à émission de champ :
Pointe à Cathode chaude Schottky (amplification par effet de champ de l’émission thermo-ionique).
- La série 4000 (double condenseur 200nA ) avec les SEM4000X et SEM4000Pro
- La série 5000 (beam booster) avec les SEM5000X et SEM5000Pro
- La série 6000 avec le HEM6000
Résolutions ultimes:
– 0.6 nm à 15 kV – 1 nm à 1 kV
Détecteur ETD, LVD, Inlens (SE et BSE)
Détecteur STEM et système CRYO SEM.
Brochure : Série SEM4000 et SEM5000