L’analyse élémentaire par EDS au MEB peut être difficile lorsqu’il s’agit d’échantillons complexes et difficiles, tels que les matériaux sensibles au faisceau, les sections minces biologiques et des sciences de la vie, les dispositifs semi-conducteurs, les matériaux de batterie, les lamelles FIB/TEM, les nanoparticules et les échantillons présentant des caractéristiques topographiques ou une charge de surface importante (c’est-à-dire le verre et la céramique).

Le XFlash® FlatQUAD est un détecteur de micro- et
nano-analyse EDS qui fonctionne là où
les systèmes conventionnels atteignent leurs limites.
L’angle solide de collection est maximal (>1,1sr) il est possible grace à sa conception SDD annulaire à quatre segments, le placement sous la pièce polaire et l’angle de décollage élevé (60deg). Une artographie extrêmement rapide au taux de comptage de sortie le plus élevé (OCR) peut être obtenue avec des courants de faisceau modérés et cela même sur des échantillons à forte topographie.

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